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ITEM |
MODULE |
CONFIGURATION |
SPECIFICATION |
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1 |
Tank 1 化学清洗 |
槽体设计 |
PTFE 焊接` |
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适用药剂 |
清洗剂 / DIW |
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药剂温度 |
50~60℃ |
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药液加热方式 |
In-Line Heater |
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喷淋装置 |
4~6组喷嘴组 |
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喷嘴型式 |
扇型/实心圆锥型,可更换 |
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运作程序 |
药液喷淋-> DIW Rinse, 固定喷淋 |
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药液使用后 |
可回收或直接排放, 自行设定 |
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DIW使用后 |
直接排放 |
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药液供应方式 |
磁浮 Pump |
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供应桶材质及容积 |
PTFE 焊接 / 20 L |
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DIW供应方式 |
厂务 |
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2 |
Tank 2 刷洗 |
槽体设计 |
NPP 焊接` |
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适用药剂 |
DIW |
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药剂温度 |
RT ℃ |
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Brush |
双PVA Brush 滚筒型, 同时刷洗双面 |
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喷淋装置 |
4~6组喷嘴组 |
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喷嘴型式 |
扇型/实心圆锥型,可更换 |
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运作程序 |
Brush + DIW Rinse Mask 上下运动清洗` |
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DIW使用后 |
直接排放 |
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DIW供应方式 |
厂务 |
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3 |
Tank 3 Rinse |
槽体设计 |
NPP 焊接` |
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适用药剂 |
DIW |
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药剂温度 |
RT ℃ |
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加热方式(选配) |
In-Line Heater |
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喷淋装置 |
4~6组喷嘴组 |
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喷嘴型式 |
扇型/实心圆锥型,可更换 |
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运作程序 |
DIW Rinse, 固定喷淋 |
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DIW使用后 |
直接排放 |
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DIW供应方式 |
厂务 |
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4 |
Tank Dry |
槽体设计 |
NPP 焊接` |
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适用药剂 |
N2 |
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药剂温度 |
RT~70 ℃ 可设定` |
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加热方式(选配) |
In-Line Heater |
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喷淋装置 |
4~6组喷嘴组 |
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喷嘴型式 |
N2 气体干燥专用喷嘴 |
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运作程序 |
N2 Dry, 固定喷淋 |
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D使用后 |
Exhaust直接抽风 |
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N2供应方式 |
厂务 |
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