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    X07 M190×300-1D-O型多线切割机

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-切割设备

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    300多线切割机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:300多线切割机

    所属系列:半导体加工设备-切割设备

     X07  M190×300-1D-O型多线切割机

    一、 产品用途及特点

    本设备主要适用于6英寸及以下半导体材料(如硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟…等)及蓝宝石、硅化物、陶瓷、玻璃、水晶等硬脆材料的高速高精度多片切割加工,主要有以下特点:

    1. 设备具有精密温度控制系统,采用热交换器对切削液进行冷却,以确保切削液的温度控制,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小。

    2.该设备采用全伺服电机驱动,导轮使用少,路径简短,稳定可靠,装配维修迅速。

    3.电气控制系统采用贝加莱控制系统及伺服驱动系统,控制精度高、响应速度快,并具有能量回馈功能(可将减速过程中的动能转化为电能回馈至电网),降低了运行成本;齐备的工艺参数设置显示,拥有20套20步的切割工艺,最大限度的发挥设备硬件功能;另有自定义选项,用于满足客户的特殊操作要求;并可选配工厂网络接口,可实现远程监控。

    4. 该设备采用双主辊同步拖动,能够减少罗拉磨损、保证线网张力的稳定、张力摆臂稳定。主轴各导轮采用间隙迷宫结构,并辅以压缩空气进行密封;轴承润滑采用脂润滑方式,安装维护方便;轴承座外周设有冷水套,对主轴内的轴承进行强制冷却。

    5.设备具有断线检测功能,及时报警停机,准确可靠。

    6.设备操作简单,保养方便。

    设备主要技术参数

    1、最大加工尺寸

    方料:(宽×高×长)150mm×150mm×300mm

    圆料:(直径×长度)φ150mm×300mm

    2、线辊主轴

    主轴参数:φ190mm±7.5mm×310mm×2轴

    轴间距:450mm

    3、切割线

    切割最大线速度:        15m/s 

    钢线直径:              φ0.10mm~φ0.25mm

    供线轮绕线能力:        30km×1

    4、工作台

    升降行程:             最大225mm

    切削速度:              0.01-9.99mm/min(根据用户工艺可自行设定)

    快速移动速度:         最高300mm/min

     5、主轴摆动

    摆动角度:             ±7deg

    主轴摆动速度:         30次/min

    6、供砂系统

            液桶容量:             90L

    供砂量:               最大200L/min

    砂浆温度控制方式:     热交换器冷却

    7、动力单元功率

    主轴驱动电机:             17.8kW       (交流伺服)   

    切割线供给/回收电机:      7.37kW×2    (交流伺服)  

    排线电机:                 0.33kW×2    (交流伺服)   

    工作台升降电机(带减速)   1.45kW       (交流伺服)

    张力控制电机:             4.15kW×2    (交流伺服)

     主轴摆动电机(带减速):   1.8 W         (交流伺服)   

    砂浆泵电机:               4kW/3kW      (变频控制)

    8、外形尺寸(长×宽×高): 2550 mm×1900 mm×2450mm

    9、设备重量:              约5500kg

    10、噪声:                 ≦75dB(A)

    产品选配表:

    序号

    名称

    1

    供液桶及回液桶1套

     

     

    2

    导轮

     

     

    3

    内六方扳手

     

     

    4

    减震垫铁

     

     

    5

    测力辊包胶

     

     

    6

    扳手组件

     

     

    7

    球头工装

     

     

    8

    拆卸工装1

     

     

    9

    拆卸工装2

     

     

    10

    轴承拆卸工装1

     

     

    11

    轴承拆卸工装2

     

     

    12

    滑套拆卸工装

     

     

    13

    收放线辊

     

     

    14

    切割辊

     

     

    15

    工件安装台

     

     

    16

    粘料板

     

     

    17

    螺钉M8×20

     

     

    18

    弹垫8

     

     

    19

    螺钉M8×16

     

     

    20

    螺钉M8×20

     

     

    21

    扭矩扳手及其附件

     

     

    22

    冷水机

     

     

    ●标配  ○可选装

    使用环境:

    设备应安装在地面平坦,安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    1、工作温度:                  15℃-25℃

    2、气源:                      0.4-0.6MPa    

    3、相对湿度                    ≦90%

    3、冷水水源:                  0.25-0.4MPa   100-150L/min   7-12℃

    4、电源:                      AC380V,50Hz (三相五线制)

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