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    X07 M250×350-1D-O型多线切割机

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-切割设备

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    350多线切割机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:350多线切割机

    所属系列:半导体加工设备-切割设备

     X07 M250×350-1D-O型多线切割机 

    一、 产品用途及特点

    本设备主要用于蓝宝石高速高精度金刚石线切割加工,主要有以下特点。

    1. 开发设计了主轴系统、收放线系统、排线系统、张力控制系统,使得切割线速度达25m/s,加速度5m/s2,满足了金刚石线切割蓝宝石高线速度要求。

    2. 针对蓝宝石高硬度难以切削的特点,设计了大角度、高频次摇摆工作台,采用伺服电机驱动,实现摇摆角度和频次的精确控制。

    3. 具有水平晶向调节功能,调整方便、可靠。

    4. 该设备切削液采用专用热交换器、两主轴4个轴承座设有水冷套,采用闭环温度控制系统良好地保证了设备运转性能。

    5. 电气控制系统采用高端运动控制器及具有能量回馈功能的共直流母线伺服驱动器(贝加莱系统),控制精度高、响应速度快、性能稳定可靠,拥有20套20步的切割工艺,最大限度的发挥设备硬件功能,图形化操作界面直观简单。

    6. 具备断线监测、报警功能,运行可靠、准确。

    7. 设备配备隔离变压器,防止谐波干扰。

    设备主要技术参数

    1、最大加工尺寸:

    方料(W×H×L):      220mm×200mm×350mm

    圆料(D×L):         φ205mm×350mm

    2、线辊主轴

    主轴参数:               φ250mm±10 mm×370 mm×2轴

         轴间距:                 650mm

    3、切割线

    切割最大线速度:       25m/s

    钢线直径:             Φ0.12mm~Φ0.25mm

    4、工作台

    升降行程:              最大230mm

    摆动角度:              最大±12deg(根据工艺自行设定)

    水平旋转角度:          最大±3deg(根据粘料情况调整)

    摆动速度:              0~20次/min(根据工艺自行设定)

    5、切削速度:                   0.01-9.99mm/min(根据工艺可自行设定)

    6、工作台移动速度(五级可设定):0.01-300mm/min

    7、动力单元功率

    主轴驱动电机:             17.8kW×2         

    切割线供给/回收电机:      11.86kW×2      

    排线电机:                 450W×2   

    工作台升降电机:           2.42kW      

    工作台摇摆电机             0.8kW

    张力控制电机:             4.15kW×2            

    砂浆泵电机:               7.5kW    

    砂浆搅拌电机:             1.5kW

    8、供砂系统

    供液桶容量:               300L

    供砂量:                   最大200L/min

    温度控制精度:             ±2℃

    9、外形尺寸(长×宽×高):         3550 mm×2200 mm×3000mm

    10、设备重量:                     约16500kg

    产品选配表:

    序号

    名称

    1

    主轴系统

     

     

    2

    收放线系统

     

     

    3

    工作台系统

     

     

    4

    隔离变压器100KVA

     

     

    5

    堆高车

     

     

    6

    供液桶1套

     

     

    7

    扭力扳手

     

     

    8

    10系列加长套筒

     

    带加力杆

    9

    导轮

     

     

    10

    内六方扳手

     

     

    11

    活扳手

     

     

    12

    丝杆拆卸工装

     

     

    13

    粘料板

     

     

    14

    垫脚

     

     

    15

    收放线辊

     

     

    16

    工件安装台

     

     

    17

    主轴线辊

     

     

    18

    冷水机

     

     

    19

    强力曲柄快速脱落棘轮扳手

     

     

    20

    六角套筒

     

     

    ●标配  ○可选装

    使用环境:

    设备应安装在地面平坦,安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    1、工作温度:                  15℃-25℃

    2、气源:                      0.4-0.6MPa    

    3、相对湿度                    ≦90%

    3、冷水水源:                  0.25-0.4MPa   100-150L/min   7-12℃

    4、电源:                      AC380V,50Hz (三相五线制)

      5、压缩空气源: 0.4-0.6MPa

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