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    MKS气体流量计 GE50A质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC

    产品品牌

    MKS

    规格型号:

    气体质量流量控制器

    发货期限:

    60天天

    库       存:

    1000

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    电话:登录后可以查看

    邮件:siyangchina@163.com

    手机:登录后可以查看

    主营:真空计,真空泵,质量流量控制器,薄膜沉积控制器,氦质谱检漏仪

    地区:中国-四川省

    地址:成都市成华区羊子山路68号

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    品牌:MKS

    型号:气体质量流量控制器

    所属系列:半导体器件-MFC

     例:型号GE50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气,流量最大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡胶密封)                                          

     

    GE50A质量流量控制器                                                                       采购系列号GE50A

    用于标准的气体(SEMI Gas编号)

     

     氮气,N2  013
     氨气,NH3  029
     六氟化硫,SF6  110

     

    流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)

     

     5  500
     10  101
     20  201
     50  501
     100  102
     200  202
     500  502
     1000  103
     2000  203
     5000  503
     10000  104
     20000  204
     30000  304
     50000  504

    装配件(法兰接口)

     

     

     Swagelok 4VCR male  R
     1/4 Swagelok   S
     C-Seal,(92mm port to port)  C
     W-Seal,(92mm port to port)  H

     

    通讯接口

     

     Profibus  4
     RS485  5
     DeviceNet  6
     Analog 0 to 5 VDC(9针D型)  A
     Analog 0 to 5VDC (15针D型)  B
     Analog 4 to mA(15针D型)  H

    密封材料

     标配:Viton  V
     选配:Neoprene  N
     选配:Buna-N  B
     选配:Kalrez  K

    预留MKS的未来应用

     

     

     标准  0

     

     固化软件版本

     

     除非另有说明,MKS会安装订货日期的最新固化版本软件  10

     

     

    满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数

    注:其他气体可选,完全替代MKS 1179A质量流量控制器

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