网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体器件 » MFC »MKS气体流量计 GE50A质量流量控制器
    包邮 关注:210

    MKS气体流量计 GE50A质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC

    产品品牌

    MKS

    规格型号:

    气体质量流量控制器

    发货期限:

    60天天

    库       存:

    1000

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    热门产品

    被关注36412

    面议

    被关注13364

    面议

    被关注2839

    面议

    被关注2097

    面议

    看了该商品的顾客还看了

    品牌:MKS

    型号:气体质量流量控制器

    所属系列:半导体器件-MFC

     例:型号GE50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气,流量最大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡胶密封)                                          

     

    GE50A质量流量控制器                                                                       采购系列号GE50A

    用于标准的气体(SEMI Gas编号)

     

     氮气,N2  013
     氨气,NH3  029
     六氟化硫,SF6  110

     

    流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)

     

     5  500
     10  101
     20  201
     50  501
     100  102
     200  202
     500  502
     1000  103
     2000  203
     5000  503
     10000  104
     20000  204
     30000  304
     50000  504

    装配件(法兰接口)

     

     

     Swagelok 4VCR male  R
     1/4 Swagelok   S
     C-Seal,(92mm port to port)  C
     W-Seal,(92mm port to port)  H

     

    通讯接口

     

     Profibus  4
     RS485  5
     DeviceNet  6
     Analog 0 to 5 VDC(9针D型)  A
     Analog 0 to 5VDC (15针D型)  B
     Analog 4 to mA(15针D型)  H

    密封材料

     标配:Viton  V
     选配:Neoprene  N
     选配:Buna-N  B
     选配:Kalrez  K

    预留MKS的未来应用

     

     

     标准  0

     

     固化软件版本

     

     除非另有说明,MKS会安装订货日期的最新固化版本软件  10

     

     

    满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数

    注:其他气体可选,完全替代MKS 1179A质量流量控制器

    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    应用于半导体行业的相关同类产品:

    服务热线

    4001027270

    功能和特性

    价格和优惠

    微信公众号