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    高精度气体质量流量计和质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-有毒气体类

    产品品牌

    瑞士福特林(Vögtlin)

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    9999

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    电话:登录后可以查看

    邮件:kun.mo@senteng.com.cn

    手机:登录后可以查看

    主营:传感器,真空计,质量流量计,液位开关,压力传感器,导轨电源

    地区:中国-上海市

    地址:上海市闵行区金都路3000号龙盛广场2号楼508

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    品牌:瑞士福特林(Vögtlin)

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-有毒气体类

    red-y smart 智能型系列技术规格

    量程  
    空气/全标度自由选择 机身尺寸 ¼” 0 … 25 mln/min 至 0 … 60 ln/min (0 … 27 SCCM 至 0 … 64 SLPM)
    机身尺寸 ½” 0 … 60 ln/min 至 0 … 450 ln/min (0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM)
    仪器版本  
    “标准版”
    经济型解决方案
    精度:满量程的 ± 1.0%*
    量程比: 1 : 50
    “高性能版”
    最高的精度和量程比
    可用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) /
    GSC < 150 ln/min (150 SLPM)(空气)
    精度:满量程的 ± 0.3%  + 读数的 ± 0.5% *
    量程比: 1 : 100
    *模拟信号可能会产生 ±0.25% 的误差
    性能资料  
    介质(真实气体校准) 空气*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8(要求的其他气体和混合气体)
    *O2 & N2 用空气校准
    响应时间 流量计:50 ms; 控制器:150 ms
    可重复性 精度:满量程的 ± 0.2%
    长期稳定性 < 测量值的1% / 年
    电源 24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc,备询
    消耗电流 流量计:最大值 100 mA; 控制器:最大值 250 mA
    运行压力 0.2 – 11 bar (3 – 160 psia) / GSC 阀门型 4.5 和 8: 最大值 8 bara (120 psia)
    温度(环境 / 气体) 0 – 50°C (32 – 122°F)
    机身材料 阳极氧化铝,可选电抛光不锈钢
    密封 FKM, NBR, 可选 EPDM
    压力灵敏度 < 读数的 0.2% / bar(一般是 N2)
    温度灵敏度 0.025% 全标度量程类型 / 1°C (<0.012% / 1°F)
    预热时间 全精度< 1 秒
    整合 & 安装  
    输出模拟信号 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V
    输出数字信号 RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可视化界面 / 可选配:Profibus DP-V0, DP-V1
    处理连接 G¼” (BSPP* 母口 ) 达 60 ln/min (64 SLPM)
    G½” (BSPP* 母口) 达450 ln/min (480 SLPM)
    *英国并联管路标准
    入口部分 无要求
    电气连接 Sub D 插头9 针
    安装方向 任意方向(水平方向仅限高于 5 bar)
    安全性  
    测试压力 16 bara (240 psia)
    泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s He
    环境防护 IP50
    EMC EN 61326-1

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