六氯二硅烷产品纯度高达99.95%以上中硅高科年产在200t以上_高纯气体_气体类原材料_半导体原材料_耗材馆

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六氯二硅烷，产品纯度高达99.95%以上，中硅高科年产稳定在200t以上

六氯二硅烷广泛存在与多晶硅系统残液中，可以用来生产无定形硅薄膜、光学纤维原料等。目前其市面价格昂贵，是多晶硅残液中最具价值的部分。我公司通过高效精馏装置，成功回收了多晶硅残液中的六氯二硅烷，产品纯度高达99.95%以上，年产稳定在200t以上。

三氯氢硅和二氯二氢硅在纯度达到一定要求时也可作为电子气用于生产外延片。目前我公司已实现了太阳能级及以下级别的三氯氢硅和二氯二氢硅产品规模化生产，并加紧研发电子级三氯氢硅及二氯二氢硅，计划于2016年建成年产1000t电子气生产线。

电子气质量规格如下：

（1）电子级三氯氢硅及二氯二氢硅

项目	产品指标
纯度	≥99.99wt%
电阻率	≥1000Ω.cm
砷+磷	0.04ppba
硼	≤0.01ppba
铝	≤1.00ppb
铁	≤0.2ppbw

（2）六氯二硅烷

项目	产品指标
纯度	≥99.95wt%
铝	≤10ppb
铁	≤10ppb
钛	≤10ppb
其它金属杂质	≤5ppb

洛阳中硅高科技有限公司（以下简称中硅高科）成立于2003年，由中国恩菲工程技术有限公司、洛阳硅业集团有限公司、偃师金丰投资管理有限公司和中国有色工程有限公司共同出资组建。公司拥有两个生产基地和一个国家工程实验室，以及一个省级研发中心。主要经营高纯多晶硅、硅片、白炭黑等。
中硅高科是拥有自主知识产权的多晶硅生产企业，工艺技术具有能量综合利用、物料闭路循环两大特点，符合大规模、低单耗、高品质、清洁生产的发展方向。使用该工艺生产的多晶硅质量稳定可控，可根据客户要求提供不同等级、不同形态的产品。中硅高科以市场为导向，用技术创新持续推动产业化、规模化，提高企业综合竞争力。
在“客户至上，人才为本，依法治企，安全环保”的企业理念指导下，中硅高科务实团结，开拓进取，为建设国际一流、环境友好型企业而不懈努力。