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    微纳力学测试与操纵系统

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-力学测试设备

    产品品牌

    FemtOTools

    库       存:

    2

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:FemtOTools

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-力学测试设备

     

    微纳力学测试与操纵系统

    这款设备是2013年刚问世的新设备,是兼备了纳米压痕和AFM的优势,也弥补了他们的劣势。

    进入中国后,先后有清华大学 尤政院士组、雒建斌院士组各买了一套。绵阳9院、澳门大学、北理工、南京大学、浙理工、哈工大复材所、中北大学、郑州航院、上海交大、淄博(MEMS)国高等都采购了。

    在薄膜器件、MEMS、多层薄、单丝纤维等测试中有着独有的技术优势,可以完成很多之前没有设备可以做到的实验。

    FemtoTools微纳力学测试与操纵系统FT-MTA02

    测试操作机台 

    一、FT-RS系列微纳机械性能测试、操纵模块

    1)可以和任意探针台、显微镜、SEM联用

    2)可以任意角度测量

    3)可以做单点力学测试,也可以做mapping

    4)可以测最小±5nN双向力,最大量程可达±100mN

    5)可以做微操纵(0-400μm)

    6)频率测试可达1Hz-8kHz

    7)位移精度达1nm(带光栅位移反馈,准确记录位移) 

    测试操作机台3

    二、应用案例:

    1)昆虫翅膀形貌、刚度分布图测试

    测试操作机台4 

    2)活体昆虫翅膀煽动频率测试

    测试操作机台5

    3)执行器正面、面内的刚度测试、晶圆级批量测试

    测试操作机台6

     4)微镜的最大转角、最大扭矩力、弹性系数测定

    测试操作机台7

    5)薄膜器件不同电压下的刚度分布、形貌分布

    测试操作机台9

    6)单丝纤维拉伸、压缩力测试

    测试操作机台10

    7)单细胞膜应力测试

    测试操作机台11

     

    8)各种环境中的微操纵

    测试操作机台12 

    技术参数:

    一、Manipulation Unit(三维移动装置)

    1、Dimensions(尺寸):L 105mm x W 103mm x H 87mm

    2、Number of axes(可移动轴数量):3轴

    3、两种移动模式:快速移动模式、扫描移动模式

    4、快速移动模式步径:50-500 nm;移动范围:26 x 26 x 26 mm

    5、扫描移动模式范围:1500 nm;位移分辨率:1 nm;有效消除移动噪音

    6、Maximum velocity(最大移动速率):5 mm/s

    7、带有光学栅反馈系统,可准确记录位移量

    8、可以和各品牌光学显微镜、探针台等设备联合使用

    二、Tool Adapter Mount Set(头部适配器)

     1、Linear adapter(延长机械臂):25 mm、50 mm、75 mm各一个

     2、Angular adapter(角适配器):15°、75°、30°、60°各一个;45°两个

     3、Sensor head(适配头):一个 

    三、Modular System Controller(控制箱)

     1、可以适配FT-S系列微力传感器,精确读出力反馈

     2、可以适配FT-G系列微钳子,精确控制微钳子开合

     3、控制三维移动装置

     4、输入输出:2 x ±10 V 模拟输入, 1 x 0-5 V 模拟输出 (max.5mA), 4 x 数字输入输出,1 x 数字计数器/触发器

     5、控制杆操作:硬件控制;软件控制;电脑键盘控制

     6、具有传感器保护模式:轴向传感器碰撞保护,有效避免误操作所可能的设备损坏 

    四、Universal Measurement Stand(多功能测试显微平台)

    1、可以放置FT-FS/RS系列设备、探针台针座等

    2、带磁性吸附系统

    v 3、提供一个分辨率在1.5μm的光学显微镜;高分辨的数字显微镜:300万像素;视野:2.4mm×1.7mm;工作距离:40mm

    v 4、提供300万LED同轴显微镜光源(针对侧面观察使用)

    5、样品台可以XY手动移动;移动范围是25mm;移动分辨率是1μm

    v 6、显微镜镜筒可以从0-180°任意旋转,旋转步径是15°

     

    五、Microforce Sensing Probe(微力传感器)

    1、Force Range(力学量程):最大可达±100mN

    2、Resolution@10Hz(力学分辨率,10Hz下):最小可达±5nN

    3、Probe Shape Customization:Tungsten wire tips(可定制钨丝针尖):Attachment of sharp tungsten wire tips with a radius of <2μm.(钨丝针尖曲率半径<2μm)
     

    六、Microgripper(微钳子)

    v 1、Opening(开口范围):0-100μm

    v 2、Driving Voltage(驱动电压):0-200V

    v 3、Force Sensor(力感应):自带力感应,分辨率为50nN@10Hz

     

    七、Software(软件)

    1、包含机械性能测试软件、Labview可模块化编程软件

    v 2、可以自动进行:压缩力、拉伸力和剪切力检测;蠕变和循环测试等;

    v 3、可以同时得到位移量和力学量

    v 4、具备力学传感器保护模式;测试过程也具有力学传感器过载保护机制

    v 5、可以控制三维移动装置进行精准移动

    6、可以导出数据,保存为.txt或者.xls格式

    v 7、整个测试过程可视化,包含一套和显微镜对接装置,可以实时观测测样过程

     

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    是否自带有数据处理现实设备,还是要另外接电脑设备?

    hunangs  2017-07-04

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