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    MKS ASTRONhf++ 30LRPS 远程等离子体电源 维修及销售

    应用于半导体行业:

    半导体二手设备-二手电源、射频

    产品品牌

    MKS

    规格型号:

    30L

    发货期限:

    10天天

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    8

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:MKS

    型号:30L

    所属系列:半导体二手设备-二手电源、射频

    一、公司介绍

    工程工作现场全景

    扬州市神州科技有限公司成立于2003年,现有专业技术人员40人, 员工50人, 专业从事射频等离子体电源的维修、维护及销售,主要服务内容包括:为半导体工厂,液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代,并提供现场支持服务。 
    公司主要客户:TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

      

    二、产品介绍

    MKS ASTRONhf++  RPS / 30L

     

     

    Operating Voltage Range 200/208 VAC ±10%
    Operating Frequency 50/60 Hz
    Current 70 Amps RMS (per phase)
    Voltage 5% (THD)
    Voltage Imbalance 10% (per phase)
    Source Impedance Ground 10%
    Leakage Current 25 mA
    Cooling Water
    Quality Facility water
    Filtration 50 Micron
    Minimum Flow Rate During Operation: 3.5 GPM
    During Idle: 0.5 GPM
    Cooling Channel Pressure Drop 17 psi
    Inlet Pressure 100 psig
    Inlet Temperature Maximum: 30°C
    Minimum: Ambient Dew Point or 15°C
    Typical Cooling Load <10 kW (NF3)
    Lower Limit Flow Set Point 3.5 GPM
    Internal Cooling Wetted Materials Copper, Stainless Steel
    Ambient Conditions
    Operating Temperature 40°C
    Storage Conditions -25 to +85°C
    Process Gases
    100% NF3 Grade 4N


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    更多信息请与我们联系!

     

    三、品质保障

    我们所销售的电源、匹配器及RPS等如无特殊说明,均提供6个月的免费保修服务。

    我们为销售产品提供终身维修服务,并可提供EXCHANGE服务,保证客户的生产正常进行。

     

    四、运输

     

    包装箱方式

    我们为所有出厂的机器提供最结实的包装,保证运输过程中机器的安全。

     

     

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