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    氧化/扩散炉系列应用于集成电路,分立器件,光电子器件,电力电子器件

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-工业电炉

    产品品牌

    青岛精诚华旗

    规格型号:

    氧化/扩散炉系列

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-山东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    10000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:青岛精诚华旗

    型号:氧化/扩散炉系列

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-工业电炉

    扩散炉,氧化扩散炉产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸

    产品名称: 氧化/扩散炉系列    氧化/扩散炉系列 name=
    应用领域:半导体
    关 键 字:扩散炉,氧化扩散炉
    产品咨询电话:4008-110044
    产品详细描述:
    产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸
    扩散炉产品特点:
    ◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行自动控制
    ◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等
    ◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
    ◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用进口质量流量计(MFC)
    ◆控温精度高,温区控温稳定性好;
    扩散炉主要技术指标
    ◆工作温度:200~1300℃
    ◆加热体控制点:3/5点
    ◆炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm
    ◆恒温区精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
    ◆单点温度稳定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
    ◆最大可控升温速度:15℃/min
    ◆最大降温速度:5℃/min(900~1300℃)
    ◆供电:三相四线,380VAC/50HZ
    ◆局部净化等级:100级。
    ◆氧化系统:干氧、湿氧(氢氧内外点火)
    欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。
     
    青岛精诚华旗微电子设备有限公司成立于1993年(青岛华旗科技有限公司,2009年),为专业的IC集成电路及器件工艺、半导体材料(晶体生长等)、半导体特气及废气处理、精密真空热处理炉(磁性材料等,成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。致力于为IC集成电路、功率器件、MEMS器件、LED、太阳能电池、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备(含成套设备及解决方案)。
        出色地完成了部分国家863项目(如GaN厚膜晶体生长的HVPE系统、MOCVD系统等)等。
         GB/T19001-2008(ISO9001:2008)质量管理体系认证。
        主要产品:氧化扩散炉系列、LPCVD 系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体尾气(废)处理SCRUBBER,真空热处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。

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