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    X62 D13B3M-9T型双面抛光机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    13.9B双面抛光机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:13.9B双面抛光机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-抛光机

     X62 D13B3M-9T型抛光机技术规格书

    一、 用途和特点

    1.1、本机主要用于蓝宝石、彩色滤光片、硅片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光,也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光。

    1.2、采用电气比例减压阀电控调节正压(输出压力因输入电压的变化而平滑地改变),选用荷重传感器时时检测工件受力,并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制,压力控制精确。

    1.3、采用三电机同步拖动,中心齿轮的变速(即可正转,也可反转)范围广,工艺调整方便。

    1.4、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺参数(压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等),以供操作工调用。

    1.5、该机具有抛光盘自动称重功能,以此配合抛光压力设定,从而保证了同样抛光工艺参数(所设压力、时间、速度以及抛光液粒度、浓度、流量)的抛光效率长久不变.

    1.6、该机具有浮动启动功能,即在缓降时启动主机,满足某些工件要求上盘动态接触的抛光工艺方案;若不需要此功能,将浮动启动时间设定为零,缓降到位后再启动即可。

    1.7、关键外购元件采用进口配套,保证了设备的使用可靠性要求。

    二、主要技术参数

    2.1、 抛光盘尺寸(外径×内径×厚度):Φ933mm×Φ515mm×50mm

    2.2、游星轮规格: (英制)   Z=108  DP12  α=20°

                      (公制)   Z=114  M=2   α=20°

    2.3、 游星轮数量:        9个

    2.4、加工能力:          36片 /φ75mm,72片/φ50mm

    2.5、最小加工厚度:      0.15mm

    2.6、下盘转速:          0~40rpm

    2.7、太阳轮转速          0~20rpm

    2.8、内齿圈转速           0~15rpm

    2.9、主电机:             7.5kW    1460rpm

    2.10、太阳轮电机:        1.5kW    1400rpm

    2.11、齿圈电机:           1.5kW    1400rpm

    2.12、设备外形尺寸:      1600mm×1290mm×2850mm

    2.13、设备质量:          约3000kg

    三、设备的安装及使用条件

    3.1、 设备箱体上装有四个起吊柱,专门用于设备搬运时吊装,设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

        设备安装的条件为:

          a、温度10℃-25℃

          b、相对湿度≤95%

          c、电源电压AC380±38V(三相五线制)

          d、压缩空气源 0.5-0.6MPa(干燥的清洁空气)

    e、冷却水 10-20℃、0.15-0.2MPa

    3.2、设备可直接放在地板上,调整六个地脚螺栓可校正设备的水平,校正时,用水平仪在下抛盘上检测(即在相互垂直的两个方向上检测、校正),其水平应调至0.06/1000mm。

    四、整机精度指标

    4.1、上下抛光盘平面度:≤0.02mm

    4.2、 下抛光盘端面跳动允差:≤0.06mm

    五、基本配置

    5.1、气动元件                                SMC

    5.2、减速器                           国产

    5.3、轴承                                 国产

    5.4、可编程控制器〔PLC〕                        OMRON  

    5.5、可编程人机界面PT                          OMRON

    5.6、拉力传感器                             国产

    5.7、变频器                              施耐德

    5.8、 低压电器       213、魏德米勒等

    5.9、 旋钮开关、电器开关                213、和泉等

    5.10电机                                        国产

     

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