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    X62 D13B-6W-1型双面抛光机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    13B双面抛光机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:13B双面抛光机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-抛光机

     X62 D13B-6W-1型抛光机技术规格书

    一、 用途和特点

    1.1、本设备主要用于光学玻璃、陶瓷、电子材料及硅、锗、计算机磁盘等金属、非金属硬脆材料的双面高精度抛光加工。

    1.2、整机采用龙门结构,主体采用箱形结构,整体稳定性高,刚性好。

    1.3、本机可以对两平行平面的玻璃晶片或其它机械零件进行双面高精度抛光加工,特别是薄脆性材料的加工,由于采用对工件非强制约束方式,因此在抛光过程中零件不易破损。

    1.4、该抛光机加压系统分成轻压抛光、 中压抛光和重压抛光和修正(轻压)四个压力段,能适应较广泛的各类用户抛光各种零件。

    1.5、本设备上抛光盘快升、快降、缓升、缓降集中于同一个手柄上,操作方便

    采用三相交流异步电机,变频调速,起动及停车平稳,无冲击。

    1.6设备采用计数程序控制,也可采用时间控制,还可测频仪控制。到预测目标值届时自动停车。因此,一人可同时操作多台机器。

    1.7、本设备电气通过PLC控制,四行文本显示器显示。

    二、主要技术参数

    2.1、上下盘尺寸(外径×内径×厚度):Φ933mm×Φ349mm×45mm

    2.3、 游星轮规格:        DP12   Z=147  α=20°

    2.3、游星轮数量:        6个

    2.4、加工能力 :         108片/φ50mm,30片/φ100mm,18片/φ125mm

    2.5、最小加工厚度:      0.20mm

    2.6、下盘转速:          0~50rpm

    2.7、主电机:            7.5kW  AC380V  1460rpm

    2.8、设备外形尺寸:      1800mm×1300mm×2700mm

    2.9、设备质量:          约3000kg

    三、基本配置

    l 气动元件:                               亚德客、SMC等

    l 减速器:                          杭州

    l 主要轴承:                             哈瓦洛轴等

    l 可编程控制器〔PLC〕                         DELTA  

    l 四行文本显示器                             DELTA

    l 变频器                               OMRON

    l 旋钮开关、电器开关                          213、和泉等

    l 主电机                                      国产

    四、设备的安装及使用条件

    4.1、 设备箱体上装有四个起吊柱,专门用于设备搬运时吊装,设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

        设备安装的条件为:

          a、温度10℃-25℃

          b、相对湿度≤95%

          c、电源电压AC380±38V(三相五线制)

          d、压缩空气源 0.5-0.6MPa(干燥的清洁空气)

          e、冷却水 10-20℃,0.15-0.2MPa

    4.2、设备可直接放在地板上,调整六个地脚螺栓可校正设备的水平,校正时,用水平仪在下抛盘上检测(即在相互垂直的两个方向上检测、校正),其水平应调至0.06/1000mm。

    五、整机精度指标

    5.1、上下抛光盘平面度:≤0.02mm

    5.2、下抛光盘端面跳动允差:≤0.06mm

     

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