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    NanoMap-1000WLI白光干涉仪

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-光学类测试-干涉仪

    产品品牌

    芦华科技

    库       存:

    100

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    10000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:芦华科技

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-光学类测试-干涉仪

    NanoMap-1000WLI白光干涉仪
    白光干涉带来了高的分辨率、400万像素的图像、大范围扫描。可定制的波长范围,使用户可以轻松灵活地测量任何表面形貌。优点在于使用了PSI(phase shift interferometry)技术,不接触样品表面,不损伤样品表面,对表面硬度没有要求,甚至可以测试粘弹性样品。
    光源 长寿命LED附带两级带通滤波光栅技术
    可选物镜倍数 10x(标配),2.5x,5x, 20x,50x,100x
    垂直分辨率 0.1 Å
    数字放大(Digital Zoom) 1x, 2x
    RMS可重复性 1 Å
    垂直扫描速度 3.75 to 26um/sec (software controllable)
    最大垂直测量范围 20 mm
    台阶高度重复性 0.1% or 1 Å (1 sigma)
    台阶重复率 1 Å
    CCD分辨率 1024 x 1024(标配),1536 x 1536 ,1920x 1920
    物镜 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x
    Z向扫描范围 20mm
    样品反光率 1% to 100%
    样品台旋转 360度
    样品台倾斜 最大4度
    标准样品 8μm台阶标样(选项)
    样品台 150*150mm(可选300*300mm)
    最大样品厚度 50mm(可选100mm)
    样品台旋转 360度
    样品台倾斜 4度

     

     

    主要应用
    • 三维表面轮廓测量和粗糙度测量,适用于精密抛光的光学表面,也适用于质地粗糙的机加工零件。
    • 薄膜和厚膜的台阶高度测量。
    • 划痕形貌, 磨损深度、宽度和体积定量测量。
    • 空间分析和表面纹理表征。
    • 平面度和曲率测量。
    • 二维薄膜应力测量。
    • 微电子表面分析和MEMS 表征。
    • 表面质量和缺陷检测。

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    提问:
     

    请问你们这个设备滚动角精度多高、直线度精度多少个um? 直线度最大范围多大?

    peert  2017-08-09

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