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    LED曝光机 深圳市兆方智能科技有限公司

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    全国

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    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-UV泛曝光机

    LED曝光机 深圳市兆方智能科技有限公司


    LED曝光机


    产品说明

    型 号 ZF-LED6390
    规 格 2700*1450*1650mm
    有效曝光区间 630mm*900mm
    功 率 光源1.5KW,整机3KW
    能量均匀度 ≥95%,100%台面利用率
    发光角度 ≤1.5°
    线路解析度 20um
    真空度 ≥95mmHg 
    制冷方式 恒温水冷
    曝光方式 双框曝光、石英玻璃+Mylar膜
    运动方式 数控精密电机、同步轮皮带
    机器控制 PLC、光源监控显示报警、恒温监控
    供电、供气 220V、10A、50HZ、0.1-0.3KPa
    适用领域 LCD精密曝光

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