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    DS-2000/14G型光刻机

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-光刻设备-UV光刻机

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-UV光刻机

    DS-2000/14G型光刻机 上海佰芯 设备商城

    ◆ 光源:350W球形汞灯(曝光谱线: i线);
    ◆ 照明均匀性:2%;
    ◆ 物镜倍率:14倍
    ◆ 曝光场面积:1mm×0.75mm
    ◆ 光刻分辨力:1 μm
    ◆ 工件台运动范围:X:100mm、 Y:100mm;
    工件台运动定位精度:0.65μm;
    ◆ 调焦台运动灵敏度:1μm;
    ◆ 对准精度:2μm;
    ◆ 调焦台运动行程:6mm
    ◆ 检焦:CCD检测,检测精度2微米
    ◆ 转动台行程:±6°以上
    ◆ 基片尺寸
    外径:Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm
    ◆ 外形尺寸:840mm(长)450mm(宽) 830mm(高)

    技术特征◆采用DMD作为数字掩模,像素1024768
    ◆采用14倍缩小投影光刻物镜成像,一次曝光面积约1mm×0.75
    ◆采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。
    ◆采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进◆口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接,可适应◆100mm100mm基片。
    ◆采用CCD检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。
    ◆具备对准功能

    配置◆照明系统
       350W
    直流汞灯(德国)、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm滤光片、气动快门、DMD(美国德州仪器)、冷却风扇。
    ◆投影物镜(可根据用户要求设计增加,如2.8倍、5倍、10倍等)
    ◆分辨力1μm(缩小倍率14倍)
    ◆工件台系统
     X
    台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅(美国)
     Y
    台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅2(美国)
      
    转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系
     Z
    台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构
      
    承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
    ◆检焦系统
      
    焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
    ◆对准系统
      对准光学检测系统、CCD、对准软件
    ◆电控系统
       汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器(19英寸液晶)、接口
    ◆花岗岩平台
    ◆控制柜桌
    ◆气动系统
     
    电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
    ◆技术资料:操作说明书
    ◆选配件
      350W
    直流高压汞灯(每增加1只3000元)、承片台(每增加1个800元),投影物镜(每增加一种3万)
    ◆其他附件
    真空泵一台(无油泵)
    空压机一台(静音泵)
    管道
    ◆技术资料
    使用维修说明书
    使用操作DVD

    安装环境要求◆要求的站地面积:2m1.5m
    ◆供电要求:交流220V,8A
    ◆洁净度:最好优于10000级

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