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    真空炉 用于硅片的真空合金、背金工艺

    产品品牌

    金立盾

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:金立盾

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-高真空气氛炉

    真空炉

     

    屏幕快照 2016-02-06 下午4.55.55.png    屏幕快照 2016-02-08 上午11.39.54.png

    ●  用  途:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    用于硅片的真空合金、背金工艺

    用于二极管真空烧结、真空焊接;热敏电阻等器件的真空烧结

     


    ●  特  点:

    ---------------------------------------------------------------------------------------------

    无油分子泵机组

    短时间达到高真空

    关键件全部采用进口件,具有高可靠性 

    具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能

    具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置

    可配备氢气系统

    升降温快,生产效率高

     

     

    ●  技术指标:

    ---------------------------------------------------------------------------------------------

    结构型式

    卧式、立式;1-4管

    温度范围

    200~1200

    极限真空度

    优于10-4Pa

    工艺气体

    N2、H2

    温区长度及精度

    ± 2/300mm--800mm

    腔体材质

    石英管、不锈钢管

    口径

    ¢100mm--¢400mm     

    载重量

    10-40KG/

     

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