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    C30热式气体质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    产品品牌

    迈测仪器

    发货期限:

    3天天

    库       存:

    999

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:迈测仪器

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

     概要

     

    C30经济型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量,其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关,所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。

    本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制,性价比高,是同类产品中价格最低的一款。


    特点 

    国内同类产品价格最低

    稳定性和可靠性高

    ±0.2%F.S.的高重复精度

    满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制

    可应用于大多数腐蚀性气体

    同类产品尺寸最小

    安装尺寸国际兼容

     

    应用 

               真空镀膜设备

    微反应装置

    晶体制备设备

    混气配气设备

    燃烧测试设备

    气相色谱仪及其它分析仪器 

          标定标准                        

             标定气体:氮气(N2)

            标定温度和压力:  温度—273.15 K(0℃)

                                 气压—101325 Pa(760mm Hg)


    输入输出信号

    0~+5.00V (输入阻抗大于100kΩ,输出电流不大于3mA)


    流量规格(N2标定)

     

             0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

             0~1,2,3,5,10,20,10SLM

             注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM~10SLM范围内任选,例如123SCCM。

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