C30热式气体质量流量控制器_无毒气体类_MFC_半导体器件_设备馆

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概要

C30经济型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。

本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制，性价比高，是同类产品中价格最低的一款。

特点

国内同类产品价格最低

稳定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重复精度

满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制

可应用于大多数腐蚀性气体

标定标准

标定气体：氮气(N2)

标定温度和压力：温度—273.15 K（0℃）

气压—101325 Pa（760mm Hg）

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,10SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～10SLM范围内任选，例如123SCCM。

流量规格(N2标定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定)	0～1,2,3,5,10 SLM
准确度	±1.5％F.S.
调节阀类型	常闭式
线性	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2％F.S.
响应时间	≤3sec
输入输出信号	0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)
电缆接头	DB15pin(针形)
工作环境温度	5～45℃
工作压差范围	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
对外单点泄漏率	≤1×10-8Pa·m3/S(He)
最大耐压	3MPa
介质接触材质	316，316L，密封填料
介质接触材质	氟橡胶，硅橡胶，丁晴橡胶，聚四氟乙烯，金属密封型
密封材料	丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ, 氟橡胶FKM，全氟橡胶FFKM，聚四氟乙烯PTFE
密封材料	丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ,氟橡胶FKM
管道接头尺寸	VCR型接头：1/4”
管道接头尺寸	双卡套型接头：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm
管道接头尺寸	双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
供电电源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
工作环境湿度	＜80RH

C30热式气体质量流量控制器

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