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    X61 D6S型双面研磨机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    6S双面研磨机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:6S双面研磨机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-研磨机

     X61 D6S研磨技术规格书

     

    、主要用途及特点

    1.1本机主要用于硅片、锗片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨,也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

    1.2 本机为四动作双面高速磨削,上下研盘作相反方向转动。工件在载体内作既公转且自转的游星运动。上、下面同时均匀磨削,游星轮自转方向可改变。上、下研磨盘的平面度可以自动修正。下研盘可以自动抬升。

    1.3 速比分配和结构安排使研磨零件一方面上下面研去量基本相等,另一方面这样研磨有很高的研磨效率。

    1.4 各构件转动速度分配合理,保证游星片齿部受力很小,磨损最少,保证太阳轮、内齿圈、游星轮备件消耗少,经济效率高。

    1.5 采用变频调速,保证设备运转平稳,适合于簿片零件精研磨加工。

    1.6 下研盘气动抬升,操作方便,定位方法简单。操作方便准确,适于高精度研磨要求。

    1.7 本机电气通过PLC控制,四行文本显示器显示压力过程,操作方便。

    1.8 砂泵为强制供液方式;

    、设备基本参数

    l 研盘尺寸:φ386mm×φ148mm×22mm

    l 游轮参数:公制:Z=70   M=2  

    l 最小研磨厚度: 0.12mm/φ20mm

    l 最大研磨厚度:20mm

    l 加工能力:   20片 /φ50mm

    l 最大研磨直径:φ100mm

    l 下盘转速:0-45rpm

    l 电机:1.5kW  AC380V   1460rpm

    l 外型尺寸:960mm×700mm×1980mm

    l 重量:约700kg

    三、设备的安装及使用条件

    3.1、 设备箱体上装有四个起吊柱,专门用于设备搬运时吊装,设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

        设备安装的条件为:

          a、温度10℃-25℃

          b、相对湿度≤95%

          c、电源电压380±38V(三相五线制)

          d、压缩空气源 0.4-0.6MPa

    3.2、设备可直接放在地板上,调整六个地脚螺栓可校正设备的水平,校正时,用水平仪在下研盘上检测(即在相互垂直的两个方向上检测、校正),其水平应调至0.06/1000mm。

    四、整机精度指标

    4.1、上下研磨盘平面度:    ≤0.015mm

    4.2、下研磨盘端面跳动允差:≤0.025mm

    五、基本配置

    l 气动元件(气缸、电磁阀)       AIRTAC、SMC等

    l 减速器:                             台湾

    l 主要轴承:                            哈瓦洛轴

    l 四行文本及PLC                        台达             

    l 变频器:                              施耐德

    l 旋钮开关、电器开关:                  213等

    l 主电机:                              国产

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