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    红外线显微镜系统

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    所属系列:半导体测试设备-显微镜分类-金相显微镜

     与工研院量测中心共同合作,开发客制化晶圆对位设备之外,也提供红外线显微镜产品。

    近年來,深受半导体、光电、光通讯(III-V) 、面板产业客戶愛戴,成功使用本设备找出晶圆上下层积体电路对位偏移量,以及找出晶圆內部的缺陷瑕疵变化。

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