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    气体质量流量计/控制器-HXMF02系列

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    产品品牌

    华旭世纪

    库       存:

    999

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:华旭世纪

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

     :产品描述::

     HXMF02系列气体质量流量计/控制器,采用了毛细管热传感技术和热温差原理,即流动中的流体与热源之间热量交换关系,来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关,因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。

    HXMF02系列小流量热式质量流量产品,采用了紧凑型设计,体积小巧精致,产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护,具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。

        在数据传输上,不但具备传统的有线式,还具备局域网无线传输数据,互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求,广泛应用于诸多工业和科研领域。

     

     产品特色::

    ● 快速响应

    ● 超高性价比

    ● 测量精确,出色的长期稳定性

    ● 可测量腐蚀性气体,坚固耐用

    ● 精巧的外观设计,全面的安全保护电路及EMI

    ● 可配专用显示表,显示瞬时流量

    ● 诸多选项:高精度、自定义量程、流量信号无线传输
     
           远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等

     

    典型应用::

     · 光伏及晶体制备   · 真空行业及镀膜   · 泄漏检测

    · 炉窑及微反应装置   · 半导体行业   · 大学/研究所

    · 分析仪器   · 气体混合配比   · 计量及计价

    · 燃料电池   · 燃烧测试   · 其它气体测控场合

     

    性能指标::

    介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体

    介质种类:客户指定,也可现场更改-需咨询我们

    标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)

    测控量程:从0~5sccm到0~30slm任选

    量程比:50:1

    精度:±1.5%满量程(>15L为2%) 高精选项:±1%满量程、±1%读数

    重复性:±0.2%满量程

    流量分辨率:0.1%满量程

    响应时间:2S

    阀门状态:常闭(仅控制器,流量计无阀门)

    工作温度:5~45℃

    工作湿度:0~100%RH(无冷凝)

    工作压差范围:流量计 0.02MPa~3MPa

                 控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM为0.1~0.3MPa)

    最大耐压:3MPa,可选高压选项10MPa

    输入输出信号:标准为0~5V

                 可选4~20mA、1~5V、Modbus、RS485

    输入输出电气参数:输入阻抗>100kΩ,输出电流<3mA

    供电电压:+15VDC@50mA  -15VDC@200mA

    电气接口:DB 15pin

    泄漏率:≤1×10-9次方Pa·立方米 /S(He)

    接液材质:316L SS

    密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

    管道接头:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8双卡套,3、6、8、10mm双卡套

    外形尺寸:长×宽×高:127×30×100mm

    产品重量:流量计0.72kg

             控制器0.88kg

     

    订购信息::

    · 流量计或控制器   · 气体种类   · 流量范围  

    · 工作温度         · 入口压力   · 出口压力

    · 管道连接尺寸和类型        · 输入/输出信号

    · 安装姿势   · 选项及其它特殊要求:请咨询我们

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