进口三维影像测量仪Summit450/600/625/800_其他_光学类测试_半导体测试设备_设备馆

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大量程、高精度影像测量仪

Summit450/600/625/800 参数介绍：

XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)

Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)

	英制单位			公制单位
测量范围(Summit 450)	18" X18"X6"			450x450x150mm
测量范围(Summit 600)	18" X24"X6"			450x600x150mm
测量范围(Summit 625)				615x610x150mm
测量范围(Summit 800)	30" X31"X6"			760x800x150mm
尺寸(Summit 450/600)	40" X65X76"			1016X1650x1930mm
尺寸(Summit 800)	56" X74.2X76"			1422X1884X1930mm
负载能力	50kg
分辨率	0.1um (可选 0.04umX-Y)
光学	双重放大 (物镜X)
	低	0.8	1.0	2.5	5.0	10.0	25.0
	高	3.2	4.0	10.0	20.0	40.0	100.0
标准物镜	2.5X
可选物镜	0.8X,1.0X,5X,10X
照明	LED 背光,LED 同轴面光
可选特征	多色可编程环形光源
	Ronchi 栅格自动ju jiao
	TTL激光
	光谱探针
	旋转工作台
	兆像素数码相机
	高速测量和连续图像获取

特征：

- 测量范围：450 x 450 x150 mm或 450 x 600 x150 mm

- 50公斤承载力

- 亚微米的光栅尺分辨率

- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒

- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒

- 误差映射：在XY平面非线性二维纠错

- 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍

- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明

- 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项

- TTL激光选项，具有自动聚焦和扫描功能

- 三角和共焦激光位移传感器选项

- SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项

- 先进的图像处理性能，快速、精确、稳健

- 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例

- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel

- 独立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg

- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备

- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择

- 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时

Summit的应用范围包括：

半导体/电子

PCB板与Stencil

光罩

引线框，引线接合，柔性线路板，连接器

SMT元件贴装

锡膏/环氧数脂胶点

芯片载体和托盒

喷墨打印机墨盒

数据存储

磁盘介质基板

滑块和悬臂组(HGA)

Wafer carriers and row bar pallets