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    瑞士 sawatec HP-150 热版机

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-涂胶设备-热板

    产品品牌

    瑞士 sawatec

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:瑞士 sawatec

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-涂胶设备-热板

     
    瑞士 sawatec HP-150 热版机
    HP-150
    详细介绍

    电炉 HP - 150

    精密软硬烘烤

    该热板HP-150是为典型的软烘焙和硬烘焙工艺的岩性,在MEMS和类似的应用。默认情况下,温度范围设计为250℃以下。设定的温度和温度分布具有较窄的边界,这意味着可以达到较高的涂层质量。HP系列产品具有较高的均匀性和高精度的工艺重复性,令人信服。可用于直径150mm以下,最大厚度5mm的衬底。

    热板易于平整,防止光刻胶通过真空手动固定基板的放电手动加载和卸载基板。


    性能数据

    温度范围:环境温度250℃以下温度精度:100℃时+/- 1℃

     

     

    额外的功能(选项)

    氮气手动冲洗,不氧化

    简单的设置工具,为优化对齐的热板

    功能(基本配置)

    温度控制采用数字目标值和实际值显示,温度自动限位开关,无过热现象

    热板采用安全玻璃,清洗方便


     



    需要媒体

    230 VAC 50/60Hz 10A (350W)

    技术真空,Ø6/4mm(-0.8)BT排气排气扇

    瑞士质量

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