晶体数控滚圆磨床_磨削机_晶圆减薄抛光设备_半导体加工设备_设备馆

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1、设备型号：FX27P-60CNC

2、技术规格：

项目		单位	机型：FX27P-60CNC
加工能力	工作台最大旋径	mm	270
	两顶针最长距离	mm	600
	最大研磨直径	mm	270
	最小研磨直径	mm	3
	两顶心间最大荷重	Kg(b)	60(顶心工作)/20（只有工作头）
	砂轮尺寸（直径×宽度×孔径）	mm	405×38(32-50)×127
	砂轮转速	rpm	1650~3300（转速可调）
	砂轮最大线速度	m/s	35(高速砂轮可达65)
	砂轮修整	mm	自动型
砂轮头	进给角度	Deg	90
	进给行程	mm	220
	X轴进给速度	m/min	6
	X轴最小进给量	mm	0.001
头架	主轴转速	rpm	50-500
	主轴形式		同动
	顶针规格		MT-4
尾座	自动伸缩距离	mm	40
尾座	顶针规格		MT-4
工作台	Z轴快速移动速度	m/min	8
	Z轴最小进给量	mm	0.001
	最大移动行程	mm	640
	旋转角度	Deg	+7/-3
马达	砂轮主轴马达	KW	3.75
	X轴进给马达（伺服）	KW	1.5
	Z轴进给马达（伺服）	KW	1.5
	头架主轴马达	KW	0.75
	冷却水泵马达	KW	0.75
	润滑油马达	KW	0.25*2
其他	机器净重	Kg	3300
	机器毛重	Kg	3500
	包装尺寸（长宽高）	mm	270020002000

3、机床精度：

（1）机床精度检验表

（2）经过豪特曼外圆磨床研磨(磨削)，须达到如下标准精度要求：(不同材质工件选用不同砂轮)

No.	机型	工件	真圆度	粗糙度
1.	FX27P-60CNC	标准试样件	≤0.0015mm	≤Ra0.25

注：粗磨 (一般情况研磨量 0.01~0.03mm)；精磨 (一般情况研磨量0.001~0.01mm)

一、 设备描述：

1、本体

本体及构件采用米汉纳高级铸铁FC30铸成，经人工正常化热处理，再经过自然时效处理。构件加工采用YASDA，MITSUI SEIKI，TOSHIBA ，ELB等世界一流设备一次装夹加工。精密尺寸可达微米级，确保设备基础构件高精度。

2、自动润滑系统

机床导轨及精密滚珠丝杆持续不断地受到自动润滑系统的供油润滑，确保更长使用寿命，及长期保持最佳精度。冷却系统与机体分开，消除振动并且有利散热。

3、自动化系统

配置西门子828D数控自动化研磨系统，并进行二次开发，实现人机对话傻瓜式操作，备有众多选购配备可供选择，包括内孔研磨装置、自动端面测量装置、自动外径测量装置等。

4、砂轮头进给轴

研磨进给系统是由手工精密铲花的一V一平轨道搭配自动润滑系统、C3级精密研磨滚珠丝杆组成，能获平顺运动、优异的重复定位精度及较长的轨道寿命。

5、砂轮主轴

砂轮主轴标准配置为前四后二轴承式结构。也可以选配高精密静压主轴，具有回转精度高，动态刚度高，抗振性好，磨削效率高，磨削表面质量好的特点，针对特殊工件研磨，具有砂轮转速可调，提高线速度，增加磨削效率。

6、尾座

尾座的设计不但具有刚性且坚固，包覆在铸铁本体内经硬化的合金钢滑筒设计用来承载MT4顶心，滑筒的顶紧力很容易经由后方的调整旋钮进行改变。特殊附件油压尾座附有踏板便于装卸工件。

7、数控系统

采用西门子数控系统为标准配置，操作简单易用。并配以西门子高性能伺服电机，使设备数控系统和传动系统有较好的兼容性，同时具备自动修砂和自动补偿功能，保障了进刀和磨削的稳定性和精度。

三、设备配置：

1、标准附件（单台配置）

序号	项目名称	产地	厂牌/型号	数量
1	CNC数控系统（二次开发）	德国	西门子828D	1套
2	伺服马达	德国	西门子	2套
3	滚珠丝杆	日本	THK	2套
4	砂轮主轴/头架主轴	台湾	健倡	各1支
5	全自动注油器（随设备配润滑油）	台湾	宝腾	2套
6	联轴器	台湾	NBK	2套
7	水泵驱动马达	台湾	宝腾	1组
8	开关按钮/接触器/继电器	日本	富士	1组
9	皮带	日本	三星	2组
10	油路构件	台湾	漳化振荣	1组
11	轴承	德国	FAG	10支
12	顶尖	台湾	台兴	2支
13	砂轮拆卸器	豪特曼	定制	1只
14	砂轮平衡棒	豪特曼	定制	1只
15	砂轮平衡台	豪特曼	定制	1只
16	碳化钨全圆顶针，半圆顶针	台湾	台兴	各一只
17	润滑油装置	台湾	宝腾	1组
18	砂轮修整装置	豪特曼	定制	1组
19	床台角度调整装置	豪特曼	定制	1组
20	手动工具及工具箱（1.百分量表、2.油壶、3.一字起子、4.十字起子、5.梅开扳手6支、6.六角扳手10支）	豪特曼	定制	1组
21	标准法兰	台湾	千岛	1组
22	标准研磨液供给装置(冷却装置)	豪特曼	定制	1组
23	防水钣金	豪特曼	定制	1组
24	水平调整螺丝及垫块	豪特曼	定制	1组
25	钻石修刀笔（单点式）	台湾	一品	1组
26	电控箱制冷空调	台湾	瑞科	1套
27	操作手册、零件手册、检验报告	豪特曼	定制	1套

3、易损、易耗件清单

序号	项目名称	产地	厂牌/型号	数量
1	砂轮皮带	日本	三星	3条/1组
2	工作头同步带	日本	GATES	1条
3	润滑油	中国	美孚或普科2#	5L
4	砂轮主轴轴承	德国	FAG	1套

四、装机环境要求：

1	电源电压	380V
2	装机总功率	12KW
3	操作环境温度	5-40℃
4	磨削液过滤方式	纸带过滤
5	冷却水泵	0.75KW
6	冷却水箱	200L

五、标准技术文档：

No.	内容	数量	备注
1	操作使用说明书	一本	中文
2	外圆磨床出机清单	一份	中文
3	外圆磨床交机验收单	一份	中文
4	外圆磨床精度检验报告	一份	中文
5	出厂合格证	一份	中文
6	数控系统用户手册	一份	中文