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    X61 D16S-W型双面研磨机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    16S双面研磨机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:16S双面研磨机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-研磨机

     

     X61 D16S-W型研磨机技术规格书

    一、产品用途

    本设备主要用于光学玻璃、陶瓷,硅片、锗片、计算机磁盘基片等电子材料及其他硬脆材料的双面高精度研磨加工,适用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密研磨加工。

    二、主要特点

    2.1、整机采用龙门结构,主体采用箱形结构,整体刚性好。

    2.2、采用四动作研磨机理,实现对工件非强制性的约束方式,因此在研磨过程中零件不易破损。

    2.3、加压系统分成轻压、 中压、重压和修正(轻压)四个阶段,广泛适用于各行业用户的加工需求。

    2.4、本机采用下盘升降方式,升降极限位置可调,满足了取放片及游轮啮合位置改变的要求。

    2.5、采用三相交流异步电机,变频调速,起动及停车平稳,无冲击。

    2.6、设备采用程序控制,设定好时间、压力段,届时自动停车。因此,一人可同时操作多台机器。

    2.7、本设备电气通过PLC控制,四行文本显示器显示。

    2.8、采用全齿轮传动方式,传动平稳,可靠性高。

    三、主要技术参数

    3.1、研磨盘尺寸:φ1118mm×φ386mm×50mm

    3.2、游星片参数:英制:齿数Z=200  模数DP12  α=20°

    3.3、游星片数量:5片

    3.4、修正轮数量:4片

    3.5、研磨直径及片数:φ75/85片、φ100/40片、φ125/25片、φ150/20片;

    3.6、下研磨盘转速:0~60rpm

    3.7、整机功率:

    主电机:11kW、AC380V、1460rpm、50Hz

    搅拌泵:90W

    加液泵:1/4HP 70L/min。

    3.8、设备外形尺寸(长×宽×高):2000mm×1400mm×2670mm

    3.9、设备质量:约5500Kg

    四、基本配置

    4.1、气缸:                           嘉贸  

    4.2、精密减压阀:                    SMC

    4.3、电磁阀                          MAC

    4.4、减速箱:                         国产

    4.5、PLC及文本:                     台达

    4.6、变频器:                         施耐德

    4.7、轴承:                           国产

    五、 精度指标

    5.1、下抛盘端面跳动0.08mm;

    5.2、上、下研磨盘平面度0.030mm。

    六、设备的安装

       设备应安装在地面平坦、安装厚度应大于300mm,远离振动源、无灰尘烟雾污染的场所。

        a 温度10℃-25℃

        b 相对湿度≦95%

    c 电源电压AC380V ,50Hz

    d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

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    提问:
     

    请问研磨精度能不能达到1一个微米?

    gookjll  2017-08-07

     和材质和厚度有关系,你可以咨询李工18662293812

    2017-08-11

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