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    IP67级防护的数字式质量流量控制器

    应用于半导体行业:

    半导体器件-MFC-无毒气体类

    产品品牌

    瑞士福特林(Vögtlin)

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    9999

    产       地:

    中国-上海市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:瑞士福特林(Vögtlin)

    型号:

    所属系列:半导体器件-MFC-无毒气体类

    red-y industrial 工业型系列技术规格

    量程  
    空气/全标度自由选择 机身尺寸 ¼” 0 … 25 mln/min 至 0 … 60 ln/min (0 … 27 SCCM 至 0 … 64 SLPM)
    机身尺寸 ½” 0 … 60 ln/min 至 0 … 450 ln/min(至 0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM)
    仪器版本  
    “标准版”
    经济型解决方案
    精度:满量程的 ± 1.0%*
    量程比: 1 : 50
    “高性能版”
    精度和量程比最高
    可用于 GIM < 200 ln/min (200 SLPM) /
    GIC < 150 ln/min (150 SLPM) (空气)
    精度:满量程的 ± 0.3%  + 读数的 ± 0.5%*
    量程比:1 : 100
    *模拟信号可能会产生 ±0.25% 的误差
    性能资料  
    介质(真实气体校准) Air, O2*, N2*, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8(要求的其他气体和混合气体)
    *O2 & N2 用空气校准
    响应时间 流量计:50 ms; 控制器:150 ms
    可重复性 满量程的 ± 0.2%
    长期稳定性 < 测量值的1% / 年
    电源 24 Vdc (18 – 30 Vdc),15 Vdc,备询
    消耗电流 流量计:最大值 100 mA; 控制器:最大值 250 mA (GIE 型除外)
    运行压力 0.2 – 11 bara (3 – 160 psia) / GIC 阀门型 4.5 和 8: 最大值 8 bara (120 psia)
    温度(环境 / 气体) 0 – 50°C (32 – 122°F)
    压力灵敏度 < 读数的 0.2% / bar (<0.014% / psi)  (一般是N2)
    温度灵敏度 <0.025% 全标度量程类型 / °C (<0.012% / °F)
    预热时间 全精度 < 1 秒
    材料  
    机身材料 316L 不锈钢(见接触液体部件的操作手册)
    电子元件外壳
    密封 EPDM (FDA),可选FKM
    整合 & 安装  
    输出模拟信号 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V
    输出数字信号 RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可视化界面 / 选配:Profibus DP-V0, DP-V1
    处理连接 G¼” (BSPP* 母口 ) 达 60 ln/min (64 SLPM)
    G½” (BSPP* 母口) 达450 ln/min (480 SLPM)
    *英国并联管路标准
    入口部分 无要求
    电气连接 带直口接头的电缆密封套 / 选配:M12 插头(DIN 标准)
    (两种连接都是 IP67 级防护)
    安装方向 所有方向都可以:我们建议水平方向安装。
    请联系制造商了解更多信息。
    安全性  
    测试压力 16 bara (240 psia)
    泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s He
    环境防护 IP67(符合 NEMA 6)
    EMC EN 61326-1
    ATEX 防爆认证 II 3G nA IIC T4 Gc (3 类 / 2 区)
    II 3D Ex tc IIIC T100°C Dc(3 类 / 22 区)

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