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    表面形貌测试设备

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-表面形貌测试

    规格型号:

    8寸样品

    发货期限:

    一个月天

    库       存:

    500

    产       地:

    德国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    100000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:8寸样品

    所属系列:半导体测试设备-表面形貌测试

    机械探针式测量方法[1-3]是开发较早、研究最充分的一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在一起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。    探针式轮廓仪是高精度的表面轮廓测量仪器,深度测量精度可达到0.1~0.2nm;纵向分辨率取决于与之配套的位移传感器,一般可达到0.1 nm的量级;横向分辨率与针尖半径有关,同时还与被测表面的具体形状有关,一般可达到0.05μm~0.25μm。

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