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    SR100 光谱反射薄膜测厚仪 上海佰芯

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

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    地区:中国-上海市

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-测厚设备-非接触式测厚仪

    SR100 光谱反射薄膜测厚仪

    ◆ 波长范围:250nm到1100 nm
    ◆ 光斑尺寸:500μm至5mm
    ◆ 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
    ◆ 基板尺寸:最多可至50毫米厚
    ◆ 测量厚度范围:2nm到50μm
    ◆ 测量时间:最快2毫秒
    ◆ 精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
    ◆ 重复性误差:小于1

    SR100特点

    ◆ 易于安装
    ◆ 基于视窗结构的软件,很容易操作
    ◆ 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能
    ◆ 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
    ◆ 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性
    ◆ 有四种方法来调整光的强度:
    § 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小
    § 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整
    § 调整光束大小
    § 通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间
    ◆ 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率
    ◆ 在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
    ◆ 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
    ◆ 系统配备大量的光学常数数据及数据库
    ◆ 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析; 
    ◆ 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
    ◆ 通过模式和特性结构直接测量。
    ◆ 能够应用于不同类型、不同厚度的基片测量。
    ◆ 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
    ◆ 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

    SR100系统配置

    ◆ 型号:SR100R
    ◆ 探测器: 2048像素的CCD线阵列
    ◆ 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
    ◆ 光传送方式:光纤
    ◆ 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
    ◆ 软件: TFProbe 2.2版本的软件
    ◆ 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
    ◆ 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
    ◆ 电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间
    ◆ 电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
    ◆ 保修:一年的整机及零备件保修

    SR100应用

    ◆ 半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
    ◆ 液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
    ◆ 医学,生物薄膜及材料领域等
    ◆ 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
    ◆ 医药,中间设备
    ◆ 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
    ◆ 半导体化合物
    ◆ 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
    ◆ 非晶体,纳米材料和结晶硅


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