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Phemos 微光显微镜是设计用于检测故障检测和地位半导体器件内产生的热信号。 热发射图像可以叠加在红外光谱共焦激光生成的高分辨率图像上，因此很容易确定故障位置精度高。
1、可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜和红外共焦激光显微镜
2、可安装300mm双面半自动探针
3、红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配）
4、低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配）
5、数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配）
主要应用：
1、氧化层中微等离子泄露
2、金属布线短路
3、PC板和器件的温度映射
4、氧化层击穿
5、反常接触孔
6、在研发过程中观察器件温度异常
7、定位TFT-LCD/有源电致发光器件泄露位置
