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Reltron ICS1000PEM 光子发射显微镜系统是模块化的结构，它实现了人性化的操作和非凡的测试精度。在定位IC失效位置，正面和背侧观察方面ICS1000PEM几乎重新定义了光子发射显微检测法，它无比的简单，有效和精确，是适合我们大家使用的优秀工具。
应用
栅氧化层漏电
p-n 结漏电
热电子效应
CMOS闩锁效应
EOS/ESD 损伤
饱和MOS器件
模拟MOSFETs
特点
前部照明的1.4兆像素增强型近红外相机; 珀尔贴风冷到 -45摄氏度
可捕捉波长范围更广的近红外光显微镜
ICS1000 PEM 软件可运行在Windows XP Pro 或者Vista Business系统
软件控制的5波段照明
双通道吉时利源端和IV曲线测试软件
可选择
InGaAs相机; 珀尔贴风冷到 -50摄氏度.
背部照明，深耗尽层相机; 珀尔贴风冷到-100摄氏度.
4通道吉时利源端和IV曲线测试软件
热点侦测
显微镜自动对焦，不同倍率镜头切换和X-Y方向定位
黑箱
防震桌
探针台
器件温度控制器：快速升温，降温样品台
器件高压输入（可达5KV）和IV曲线测试软件
