网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体加工设备 » 炉类设备 » 退火炉 »allwin快速热退火系统RTP
    包邮 关注:1328

    allwin快速热退火系统RTP

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    产品品牌

    allwin

    规格型号:

    AccuThermo AW410

    发货期限:

    90天天

    库       存:

    1000

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:allwin

    型号:AccuThermo AW410

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-退火炉

      1. AccuThermo AW410 是一款用高强度可见光加热单片wafer 或样片的快速退火系统,其工艺时间短,控
    温精度高。工艺稳定时间最大可设置到9999 秒,一般推荐1-600 秒。
    2. 相对于传统的炉管式退火系统,其独特的水冷腔体设计、先进的温度控制技术以及Allwin21 研发的
    RTAPRO 软件控制系统,确保了优越的温度均匀性。
    3. 工艺时,wafer 放置在独立的石英腔体内的石英载盘上,通过软件操作手动或自动加热模式控制上下两
    排的四组灯管对wafer 进行加热。
    4. RTAPRO 软件可以全方位控制、监控AccuThermo 快速退火系统,允许工程师自由创建、编辑工艺菜单,
    5. AccuThermo 快速退火系统的应用:
    离子注入激活;多晶硅退火;氧化回流;硅化物形成;欧姆接触合金
    氧化物、氮化物生长
    砷化镓、磷化铟工艺
    二、设备特点:
    1. 水冷以及镀金腔体设计在过去30 年里已得到业内认可
    2. 上下两排灯管加热保证了优越的温度均匀性
    3. 采用了闭环温度控制设计
    4. 实时显示温度曲线,适合特殊工艺需要
    5. 传统技术无法实现的快速升温、降温速率
    6. 稳定的片间工艺重复性
    7. 隔离的石英腔体结构避免了外部污染
    8. 体积小、能耗少
    9. 集所有控制为一体的操作软件
    ○ 图形用户界面
    ○ 实时工艺过程数据采集
    ○ 实时工艺曲线
    ○ 工艺数据分析
    ○ 工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
    ○ 多步骤的工艺菜单编辑
    ○ 工艺菜单编辑操作简单
    ○ 系统诊断功能
    ○ 腔体校准功能易于实现温度平滑控制
    ○ 气路流量软件校准操作简单、方便
    ○ TC 通道软件校准操作简单、方便
    ○ 功率监测功能,保证良好的工艺重复性
    ○ 丰富的硬件诊断功能,方便设备维护及维修
    ○ 软件“看门狗”功能,可以及时的切断灯管电源,有效防止温度失控
    10. 关于AccuThermo 快速退火系统加热、冷却、温度测量模块的主要特点如下:
    ○ 以高强度可见光加热晶片,短时间内可升到400-800℃,温度控制精确。
    ○ 卤素灯和金属腔体冷壁设计满足快速升温、降温需求
    ○ 软件系统实时数据采集、分析功能满足特殊工艺需求
    ○ 冷却氮气给灯管和石英腔体降温
    ○ MFC 控制气体流量通入石英腔体用来吹扫或反应
     

    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    升温速度多高啊?处理晶片的尺寸多大?

    gookjll  2017-08-07

     关于您对我司快速热退火系统RTP问题,请发邮件到news@yoshi.co.jp
    贵司的名称,您的联系方式,姓名,也请说明一下,我们片区的销售会邮件给您回复的。

    2017-08-08

    应用于半导体行业的相关同类产品:

    服务热线

    4001027270

    功能和特性

    价格和优惠

    微信公众号