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    RTA快速退火炉 金立盾

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    产品品牌

    金立盾

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-山东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:金立盾

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    RTA快速退火炉

     

    屏幕快照 2016-02-08 下午1.29.11.png

    ●  用  途:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    活性退火、合金

    薄膜生成退火

    欧姆电极烧结

     

    ●  特  点:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    采用红外测温方式,快速准确测温

    加热气氛为真空、气体、流动气体等

    可进行高速加热、高速冷却

    红外灯管,多温区独立加热,功率可调

    可进行大片量Wafer退火工艺

    低功耗,高产能

    可选配机械手,进行连续式工作

     

     

    ●  技术指标:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    使用温度范围

    RT-1100℃

    Wafe尺寸

    2-6英寸

    放片量

    16片

    升温速率

    10-150℃/S  可调

    工艺气体

    N2

    气体控制

    MFC、气动阀

    真空机组

    选配、干式机组

    真空度

    10-3Pa(10-5Torr)

    温度均匀性

    ±3℃(300-800℃)

    控制

    工业PC

    载料盘

    碳化硅

    报警

    温度、压力、气体、动作报警等

    电源

    三相五线、50HZ、380V

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