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    扩散炉(微控)

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-管式炉

    产品品牌

    赛尔微

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:赛尔微

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-管式炉

     微控扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸

    产品特点: 
    主机为水平一至四管炉系统构架,能独立完成不同的工艺或相同工艺 
    工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行全自动控制 
    采用悬臂式送片:操作方便、无摩擦污染等 
    关键部件采用进口器件,确保设备的高可靠性 
    工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),气体流量采用质量流量计(MFC)控制 
    控温精度高,温区控温稳定性好; 
    具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
    高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命

     

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