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    扩散炉炉体

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-管式炉

    产品品牌

    赛尔微

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赛尔微

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-管式炉

     主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。

    产品特性:
    ◆满足2"-8"立式、卧式晶圆扩散炉    
    ◆保温材料:英国摩根进口保温层

    ◆绝缘材料:高精度99瓷拉条绝缘子
    ◆使用温度:
    value="350" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">350value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300
    ◆外  壳:不锈钢板/铝板

    ◆端  口:优质氧化铝氧化锆
    ◆控温段:3-7段控温
    ◆ 口  径:Φ
    value="80" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">80mm—Φvalue="450" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">450mm
    ◆恒温区:100
    value="1300" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-1300mm

    ◆质保寿命:≧12个月(温度1250℃以上)

                18个月(温度value="1250" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1250以下)

    ◆供货周期:第一次做的型号约二十天,再次做同类型号的约十天

    ◆单点稳定性≦±0.5℃/24h

    ◆控温精度:≦±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5801~1300℃) 

    ≦±1℃(200~800℃)

    ◆升降温速率:升温速率25℃/min

    降温速率:value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5min601~1300℃)

    value="4" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">4min401~value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">600

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