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    管式电阻炉/管式马弗炉/管式气氛炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-管式炉

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-管式炉

     - TL1200 管式炉 - 

    这款管式炉以瑞典康泰尔电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30 段程序控 温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝 多晶纤维材料,炉膛分为上下两个半圆,需要急 速冷却或换管子时,可以打开炉膛,双层炉壳间 配有风冷系统,能快速升降温,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿 企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD 实验、真空退火用的理想产品。

    组件配置:

    一、控温仪表:采用宇电程序控温仪表

    1、30段程序控温智能PID调节。

    2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶

       烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电

           炉)。

       3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

       4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

       5、仪表具有温度自整定的功能。

    二、开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉子打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。  

    三、炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

    四、加热元件:  采用世界上一流加热元件 瑞典Canthal A1电阻丝, 温场均衡、使用寿命长。      

    五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

    六、软件控制系统(选配):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑

                             上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时

        刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

    七、控制系统:1、电器:正泰,    2、可控硅:德国西门空106/16E,    3 触发器:移相触发。

    八、密封系统: 该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸

        气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

    九、真空系统(选购):  可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。 

    十、供气系统(选购):客户可通过供气系统上的浮子流量计或质子流量计控制气体的流速。

    十一、法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛箱,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25

          波纹管并能做成容易拆卸的铰链式。

     

    各种规格尺寸:


    型号

    炉管尺寸

    功率

    (kw)

    电 压

    (V)

    加热段长

    (mm)

    最高温度

    (℃ )

    额定温度

    (℃ )

    热电

    偶型号

    升温速率

    (可根据要求设计)

    TL1200-Ⅰ

    Φ60×1000

    2.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅱ

    Φ80×1000

    3.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅲ

    Φ100×1000

    3.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅳ

    Φ120×1000

    4

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-V

    Φ150×1000

    5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-VI

    Φ200×1000

    6

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-VII

    Φ250×1100

    7

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

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