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    NSR2005i12D光刻机 上海卓晶半导体科技有限公司

    产品品牌

    卓晶

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:卓晶

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-步进光刻机

    NSR2005i12D光刻机 上海卓晶半导体科技有限公司 设备商城

    NSR2005i12D主要用于CD线宽不超过0.35μm器件的生产。

    主要技术指标

     

    分辨率

    0.35μm

    Resolution

    0.35μm

    N.A.

    0.63

    N.A.

    0.63

    曝光光源

    365nm

    Exposure light source

    365nm

    倍率

    1:5

    Magnification

    1:5

    最大曝光市场

    22mmX22mm

    Maximum Exposure area

    22mmX22mm

    对准精度

    55nm

    Alignment accuracy

    55nm

    提供4”、5”、6”、8”、设备改造。

    常年提供所有备件、耗材。

    更多型号设备欢迎致电或浏览我们的网站。

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