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    SAWATEC瑞士进口 喷胶机 喷涂机 ispray 300

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    所属系列:半导体加工设备-涂胶设备-自动喷涂机

     针对具备高度结构化晶圆形貌、深度 MEMS 结构或不平整表面特征的基
    板,SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能够确保尽可能均匀的喷涂效果。它是一款精密
    的喷胶机,适用于手动喷涂或喷雾显影工艺,主要被应用于研究与开发实验室,尤
    其是 MEMS 加工的试产和小量产场合。
    经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶(例如 Shipley
    1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成最精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷
    嘴经由“弓”字型行进路径进行喷涂,由此可以确保整个基板表面上均匀的喷涂效
    果以及高度可再现性。该设备可用于圆形或正方形基板,最多可同时喷涂 4 个晶基
    板。
    iSPRAY-300 喷胶机适用于最大直径为 300 mm 的晶圆或尺寸为 12x12 英寸的基板。

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