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    RCA清洗机

    应用于半导体行业:

    半导体清洗设备-标准清洗-RCA清洗机

    产品品牌

    NTNY

    发货期限:

    30-90天天

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:NTNY

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备-标准清洗-RCA清洗机

            设备台面排列布置如(台面布置图)所示,共8个工作位,其中4个工艺槽,4个QDR槽,所有槽工作在洁净、全封闭的结构中,每个工作位有一个透明PVC自动门。每个工位均有一套单独的控制按钮(开始、停止、急停),工作参数通过触摸屏设置,并能存储最近设定参数历史记录。将来清洗片盒手工放在机械手上,操作人员按“开始/start按钮”后,安全门自动关闭,由机械手按照设定的工艺程序自动完成片盒在工艺槽及QDR槽间的传输,清洗完成后系统发出报警提出信号,待人工手动取出。设备台面的左、右前方分别配置PP材料的水气枪(1把气枪,4把水枪),便于工件及设备的清理。

     

    台面布局:
    台面布局

    整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

    由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:
    (1)设备机架采用钢结构骨架包塑;
    (2)壳体采用瓷白色PP板材焊接成型,制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成;
    (3)电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;
    (4)槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;
    (5)机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟/套PFA管/teflon定制,以期达到防腐耐用;
    (6)药液管路中,管子、阀门、接头均为PFA材质;
    (7)纯水管路采用C-PVC

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