全自动硅片腐蚀清洗机该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀，德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工；一、槽体结构：该槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的快排阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。二、工艺控制：快排冲洗槽（QDR）的工作过程由独立K200型专用控制器保证。所有工序均由机械手自动行走自动完成
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全自动倒片功能，兼容SMIF和FOUP。
• 兼容8寸，12寸Wafer清洗。
• 自动配液系统，实现不同浓度精确配比。
• 支持Marangoni干燥。
• 支持多任务并行处理。
• 模块化设计。
• 结构紧凑、占地面积小。
• 维护成本低。
• 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准。
• 针对易燃易爆化学品配置二氧化碳灭火系统。
• 洁净等级符合 ISO Class 1标准
售后保障
公司秉持“合作、共赢、自主、创新”的发展理念，在充分合作的基础上，以技术创新、管理创新和服
务创新为一驱动力，通过自主研发、自主管理建立自主知识产权、打造自主品牌，努力实现多方共赢，积
极推进传统制造向智能制造转型升级。
目前已形成以苏州为中心，工厂、办事处遍及全国的战略布局。
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