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    瑞士NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机

    产品品牌

    瑞士NanoFrazor

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:瑞士NanoFrazor

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-电子束曝光机

     

    瑞士NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机 

    源自IBM最新研发成果      

        NanoFrazor纳米3D结构直写机的问世,源于发明STMAFMIBM苏黎世研发中心,是其在纳米加工技术的最新研究成果。NanoFrazor纳米3D结构直写机第一次将纳米尺度下的3D结构直写工艺快速化、稳定化。
        NanoFrazor采用尖端直径为5nm的探针,通过静电力精确控制实现直写3D高精度直写,并通过悬臂一侧的热传感器实现实时的形貌探测。相对于其他制备技术如电子束曝光/光刻技术(EBL), 聚焦离子束刻蚀(FIB)有以下特点:
       ■   3D纳米直写能力
             高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
             高速直写 20 mm/s 与EBL媲美 
       ■   无需显影,实时观察直写效果
             形貌感知灵敏度0.1nm
             样品无需标记识别,多结构套刻,对准精度 5nm 
       ■   无临近效应
             高分辨,高密度纳米结构
       ■   无电子/离子损伤
             高性能二维材料器件
       ■   区域热加工和化学反应
             多元化纳米结构改性
       ■   大样品台
     
             100mm X 100mm
     
     新产品发布:NEW!!  NanoFrazor Scholar --小面积直写
         ■   3D纳米直写能力
             高直写精度 (XY: 30nm, Z: 1nm)
             高速直写 10 mm/s 
       ■   无需显影,实时观察直写效果
             形貌感知灵敏度0.1nm
             样品无需标记识别,多结构套刻,对准精度 10 nm 
       ■   无临近效应
             高分辨,高密度纳米结构
       ■   无电子/离子损伤
             高性能二维材料器件
       ■   区域热加工和化学反应
             多元化纳米结构改性
       ■   小样品台
             30mm X 30mm
     
     
     

     
    独有的直写针尖设计
        
        普通的AFM针尖无法满足上述NanoFrazor直写流程的需求,因此NanoFrazor所用针尖是由IBM专门研发设计的。该针尖具有两个电阻加热区域,针尖上方的加热区域可以加热到1000oC。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处,其能感知针尖与样品距离的变化,精度高达0.1 nm。因此在每行直写进程结束后的回扫结构时,并不是通过针尖 起伏反馈形貌信息,而是通过热导率传感器感应形貌变化,从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度,同避免了针尖的快速磨损消耗。
     

     
    NanoFrazor技术特点
       

     

    其他功能

    ● 纳米颗粒有序定位排列

    ● 纳米局部化学反应诱导

    ● 表面化学图案、结构生成
    纳米颗粒有序定位排列 
     氧化石墨烯的定位还原
      
     

    图形转移

        通过NanoFrazor3D纳米结构直写机获得的纳米图形结构,可以通过传统成熟的工艺技术,如干法刻蚀,电镀、注射成型法等进行图形转移。
     
      
     
     应用领域      

    快速原型设计开发

    ● 衍射透镜,全息图

    ● 非球面微透镜阵列

    ● 波导纤维、光子晶体

     MEMS/NEMS

    ● 表面等离子激元,超材料

    ● 纳米磁学

    ● 纳米电子器件

    ● 生物细胞研究

    ● 纳米流体控制

    ● 反物质物理学
     

    微纳结构

    ● 防伪标识

    ● DFB 激光、

    ● ASICs 的关键部位加工

    模板加工

    ● 光掩模板

    ● 纳米压印印章

    ● 注射成型模具

     


     
      

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