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Step Height Measuring System
ET150K31
KOSAKA SE 500-59表面粗糙度测定机是一款KOSAKA新推出的经济型便携式台式两用机型。根据您的需求任意组合，并可对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，是一款带有专用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度测量仪器，简单操作，显示一目了然。
ET150K31 组合
产品特性
· 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震
· 独家专利的直动式传感器设计
· Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
· Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）
· 样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
· 高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm，Y方向最大移动150mm
· 自带三维测量功能
ET150K31的结构
花岗岩低重心设计
极佳重复性与线性度
采用直动式检测方式
可避免圆弧补正误差
可避免Bearing间隙误差
台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）
直动式检出器构造
重复测量数据 (10 times)
直动式检出器测量边沿效应
直动式检出器测量边沿效应
线性度
Vertical linearity（垂直线性度） : ±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）
线性度计算公式： 误差范围 / Z方向测量范围
测量设备型号 : ET-150系列
测试样品为 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 认证的标准样品
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm
Taylor Hobson 标准样
VLSI SHS-9400QC
VLSI SHS-440QC
高分辨率
纵轴最高分辨率0.1nm
横轴最高分辨率0.1um
X测定速度可调：5μm~2mm/s
可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等
超高垂直直线度
垂直直线度：任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度
可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告
超高垂直直线度精度保证：
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力
超高垂直直线度的优势
超高直线度国际认证数据
位移光栅尺与时间取样
ET150K31绝佳的设计，达到最佳的测量效果
设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震
·最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性
直动式检测器
·最佳的测量重复性&线性度，确保各样品台阶测量的精度、准确度
样品台超高的垂直直线度保证
·进一步提高台阶测量精度，确保样品形状不变形
样品台X方向光栅尺定位，最长测量距离100mm，最快测量速度5μm/s
·样品周期性结构不失真，长距离有利于测定多种国际参数
实时监控测量位置
配备标准CCD：实时监控测量位置
可选购TOP VIEW CCD，执行高精度定位量测
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种
可测量台阶及倾斜度
超大测定力范围
测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等
触针保护盖板及方便更换
