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Semishare SCG系列高低温真空探针台

应用于半导体行业：

半导体测试设备-电学性能测试-半自动探针台

产品品牌

semishare(森美协尔)

规格型号：

SCG-Auto-O-2 / SCG-Auto-O-4

发货期限：

面谈天

库存：

产地：

中国

数量：

价格：

面议

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客服电话：4001027270

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商品参数
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售后保障

品牌：semishare(森美协尔)

型号：SCG-Auto-O-2 / SCG-Auto-O-4

所属系列：半导体测试设备-电学性能测试-半自动探针台

详情请咨询赵经理 15323433820

应用方向：高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

特点：
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~450K）
半自动批量测试
防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
支持光纤光谱特性测试
兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
器件的高频特性(支持最高67GHz频率)
探针热沉设计
LD/LED/PD的光强/波长测试
自动流量控制
材料/器件的IV/CV特性测试

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半自动高低温真空探针台
型号		SCG-Auto-O-2	SCG-Auto-O-4
外形		1500mm长1200mm宽800mm高	1900mm长1400mm宽900mm高
重量		约300KG	约350KG
电力需求		AC220V,50~60HZ
样品台	尺寸	2英寸	4英寸
	样品固定方式	真空导热硅脂/弹簧压片
	样品台移动	2*2英寸，电动	4*4英寸，电动
	样品台移动	1um	1um
	正压环境	5-10个大气压最高真空
	真空度	10^-10torr
光学特性	显微镜行程	2*2英寸	4*4英寸
	放大倍数	变焦：7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X）
	真空腔观察窗尺寸	2inch	4inch
	CCD像素	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
温控规格	制冷方式	液氮/液氦
	控制方式	开循环手动/自动冷媒流量控制
	控温范围	77K~450K/4.2K~450K
	控温分辨率	0.001K
	温度稳定性	4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
		373K ±0.08K 473K ±0.1K
		823K ±0.2K(可选） 973K ±1.0K(可选）
	常温到8K冷却时间	90min
	8K到常温升温时间	90min
	常温开始的升温时间	100℃ 150℃ 200℃
		30min 50min 80min
	加热电源	LVDC 低压直流
	传感器	硅二极管
	传感器数量	样品台，防辐射屏，探针臂各一个
	功率	50W/100W/500W/1000W
点针规格	探针数量	2个/4个/6个
	探针调节	真空波纹管外部调节，三轴机械手
	点针精度	10微米/2微米/0.7微米
	X-Y-Z行程	25mm-25mm-25mm
	漏电精度	10pA/100fA
	接口形式	三轴/SMA/K/光纤接口
软件功能		晶圆Map编辑
		测试仪器加载
		自动运动控制
		运动视觉补偿
		数据采集分析
		参数一体化显示
可选附件		防震桌	Chuck运动装置
		多级压缩制冷机	电磁铁系统/超导磁铁系统
		机械泵/分子泵组/离子泵	超高温升级选件
		射频部件	超高真空升级选件
		超高压力升级选件	客户特殊定制

Semishare SCG系列高低温真空探针台

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