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    芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜

    产品品牌

    芯茂

    库       存:

    1

    产       地:

    中国-浙江省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:芯茂

    型号:

    所属系列:半导体测试设备-表面形貌测试-表面轮廓仪

     

      表面缺陷检测装置【魔镜】

      应用魔镜的原理,高灵敏度地检查镜面样品的表面状态。可以高灵敏度地检测样 品表面上的不均匀性,翘曲,抛光不均匀性等,检测结果在监视器上用亮度( )和暗度()表示。 检查可以在非接触和非破坏性的情况下进行,并且可以立即确认样品的表面状态 。 这是一款使用免维护光学系统,可操作性优异的设备。

      特长
      1.
      所有的表面状态都是即时的。

      2.我们的光学系统对应是1级的。

      3.光学系统是免维护的。

      4.根据检查内容,检测灵敏度/检测放大率可以进行变更

      5.根据每个样品和检查位置定制较佳光学系统

      用途:

      l  镜面晶圆的表面检查

      l  滑移线的检查

      l  玻璃基板的检测

      l  其他镜面基板的检测

      l  Film等的基板以外的检查 

      规格:

      标准型(YIS-200SP,300SP 

      检查内容

      平坦度、DIMPLES MoundSawmarkOriangepeel

      使用光源

      卤素灯(550nmFiltering)定照度化亮灯

      照度可变

      连续可变(设定值表示)

      Camera

      CMOSCamera

      检查区域

      φ200mm以下(YIS-200SP)φ300mm以下(YIS-300SP) φ300mm450mm(可以按特别要求进行制造)

      检查倍率

      等倍3倍模式切换 (标准装备)

      感度调整

      连续可变(设定值表示)

      检查时间

      瞬时影像输出表示

      装置构成/  外形寸法

      光学系本体(YIS-200):560(W)X892(D)X1465(H)mm 30kg

      光学系本体(YIS-300):600(W)X1008(D)X1630(H)mm 50kg

      电源单元(共通):320(W)X400(D)X110(H)mm 5kg

      显示器控制用PC

      电源

      电源单元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A

      显示器控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1**

       

      高倍率大型(YIS-50HM 

      检查内容

      滑移线、Edge、面粗等

      使用光源

      卤 素 灯 (550nmFiltering)定照度化亮灯

      照度可变

      连续可变(设定值表示)

      Camera

      CMOS Camera

      检查区域

      15mm(W) X 10mm(D)

      检查倍率

      30

      感度调整

      连续可变(设定值表示)

      检查时间

      瞬时影像输出表示

      外形尺寸

      重量

      光学系本体:420(W)X700(D)X970(H)mm 30kg

      电源单元:320(W)X400(D)X110(H)mm 5kg

      显示器控制用PC

      电源

      电源单元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A

      显示器控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1**

       

       

       

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