网站首页

|EN

当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体加工设备 » 炉类设备 » 退火炉 »Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长
    包邮 关注:153

    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    产品品牌

    Centrotherm

    库       存:

    1000

    产       地:

    德国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    1000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    电话:登录后可以查看

    手机:登录后可以查看

    主营:Business scope:Centrotherm oxidation、Centrotherm Activator ...

    地区:中国-上海市

    地址:上海市浦东新区申江路3333号怡亚通广场B座812室

    进店逛逛 关注店铺

    品牌:Centrotherm

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-退火炉

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生长

     

    centrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物(SiC)或镓-氮化合物(GaN) 设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体, 如研发炉和批量生产炉, 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低,所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    温度最高达 1850°C

    批量规模高达 50硅片(150mm)

    加热率最高达 150 K/min

    通过SiH4可实现硅“过压

    咨询

    购买之前,如有问题,请向我们咨询

    提问:
     

    加温速度是多快啊?降温装置是什么?有现货吗?

    hjool  2017-07-24

    应用于半导体行业的相关同类产品: