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蒸发透明导电薄膜ITO 代加工

发表于:2019-10-24  作者:gdisit  关注度:290

 

设备名称:ITO电子束蒸发台 / 台湾聚昌

用途:蒸发透明导电薄膜ITO

技术指标:

1. 样品尺寸:102*2英寸、21*4英寸、12*6英寸

2. 基底刻蚀温度: 室温-350℃可调,控温精度1℃

3. 极限真空:2×10-7 torr,蒸发均匀性:<±5%

案例:

不同氧流量ITO形貌
                                                                                      不同氧流畅ITO形貌
 

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