蒸发代加工
发表于：2019-10-24 作者：gdisit 关注度：298
设备名称：金属电子束蒸发台 /美国德仪
用途：蒸发Ti，Al，Ni，Cr，Pt，Au，Ag、Mo等金属
技术指标：
1. 样品尺寸：5*2英寸、1*4英寸、1*6英寸
2. 极限真空： 2×10-8 torr，蒸发均匀性：<±3%
3. 一炉可以依次蒸镀8钟不同金属
4. 可以蒸镀高熔点金属Pt、W等
5. 带有预腔室，保证腔体高真空，形成高质量薄膜
6. 带有Ar等离子清洗功能，保证薄膜和基底高粘附性
案例：
1nm超薄金属蒸发
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