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当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体加工设备 » 刻蚀设备 » 反应离子刻蚀机 »KOH刻蚀机
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    包邮 关注:418

    KOH刻蚀机

    应用于半导体行业：

    半导体加工设备-刻蚀设备-反应离子刻蚀机

    库       存：

    50

    产       地：

    中国

    数       量：

    减少 增加

    价       格：

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    品牌：

    型号：

    所属系列：半导体加工设备-刻蚀设备-反应离子刻蚀机

     二、设备结构及主要工艺概况

    2.1外形结构图：见图纸

    2.2台面布局图：操作台面高度为850mm，适合于身高为1550到1800mm人员操作。

     QQ截图20160718143129


    2.3各槽位主要技术工艺：

     

    槽体

    工位1

    工位2

    工位0

    介质

      KOH

    DIW

    DIW

    功能

    溢流

    循环

    抛动

       喷 淋

       快 排

    注 水

    溢 流

    自 动

    喷 水

     

    材料

    SUS316L

    NPP

    NPP

     

     

    咨询

    购买之前，如有问题，请向我们咨询

    提问:
     
    问

    你们建议用什么保护层？KOH浓度多高？？？？

    gookjll  2017-08-07

    答

     您好，您可以拨打我们的客服热线400-8768-096 ，或者18913575037 咨询的

    2017-08-17

    问

    如果用Si3N4做保护层，你们这个KOH浓度应该在多少比较好？会不会保护不了？

    wole  2017-07-28

    答

    您好，您可以拨打我们的客服热线400-8768-096 ，或者18913575037 咨询的

    2017-08-03

    问

    请问有实物参照吗？你这个和TMAH的哪个效率高一点？

    whhg  2017-07-10

    答

     你好，这个是有设备可以看到的，你可以拨打热线400-8768-096 ，或者18913575037 咨询的

    2017-07-19

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