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    扩散炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备

    产品品牌

    JFHK系列或OEM

    规格型号:

    JFHK系列

    发货期限:

    3个月内天

    库       存:

    10

    产       地:

    中国-北京市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    30000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:JFHK系列或OEM

    型号:JFHK系列

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备

     


     

      

    一、扩散炉简介
    扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

     

    二、扩散炉特点

    1、软着陆载片装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性,同时桨的清洗周期大幅度延长。

    2、高精度温度控制,新型炉体设计,提高了温度稳定性,配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。

    3、关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质量。
             

    三、扩散炉主要技术参数                             

    ◆工艺管数量:1-4管

    ◆工艺管口径:Φ90value="360" numbertype="1" negative="True" hasspace="False">-360mm(3~12英寸)

    ◆结构型式:卧式热壁型、立式或其他形式,可根据客户需求定制

    ◆工作温度范围:400~1280℃

    ◆恒温区长度及精度±value=".5" numbertype="1" negative="False" hasspace="False">0.5℃/value="1080" numbertype="1" negative="False" hasspace="False">1080mm

    ◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

    ◆气体流量设定精度:±1%F.S

    ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

    ◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)

                    噪音:≤62dB(A)

                    震动:≤3μm

    ◆控制方式: 工业微机控制

    ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

    北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定制各种非标:扩散炉、扩散炉控制系统、扩散炉多台监控系统、焊接炉、硒化炉、烤盘炉、气氛炉、烤盘炉、焊接炉、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做,厂家直接供货,欢迎广大客户来电来函。

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    控温仪是不是智能自动的?工艺管数这里能不能定制?

    shangdangshengjie  2017-08-25

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