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设备配置:
»Φ2-8" 圆片及其它形状的基板
»32"×32" 圆形工艺腔
»16" VAT 高阀组
»加热温度500℃，16KW
»1-6 坩埚，可选配
»Austin 冷泵
»3 dome 行星架
»电子枪电源，10-15KW air cooled
»ELO 17" 触控屏
»10KW电子枪电源
特点：
»设备真空 5.0E 10-7Torr
»工艺真空 8.0E 10-8Torr
»真空速度：2.0E 10-6Torr < 10min（高阀打开）
»最高温度500°C
»装片能力：
·3" 108pcs • 4" 57pcs •5" 39pcs
·6" 24pcs • 8" 15pcs
»产能：
·单位小时= 60/99.3*24=14.496
·月产能 = 1440*0.9(PM time)/99.3min*24*30 = 9396
»均匀性：片内，片间，批间 ±3%
»Windows XP操作系统，界面友善
»控制面板简洁、清晰，操控方便
»全中文操控平台，更适合国内用户
动力条件：
»电源：VAC208，3相5线 / 50/60Hz，160Amp
»冷却水：3－5 Gmp
»压缩空气：85－125psig
»氮气：20－60psig
