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    DZS800型电子束镀膜设备 沈阳鹏程真空

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-辽宁省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-电子束蒸发

            DZS800型电子束镀膜设备 沈阳鹏程真空
     
      主要用途:
     
      用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。
     
      系统组成:
     
      系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
     
      技术指标:
     
      极限真空度:≤6.7×10 Pa
     
      恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
     
      系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
     
      真空室:真空室800x600 x600mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统
     
      e型电子枪:阳极电压:8kv、10kv(1套)
     
      坩埚:水冷式坩埚,六穴设计,每个容量11ml
     
      功率:0-10KW可调
     
      电阻蒸发源(可选)
     
      电压:5、10V
     
      功率:电流300A,最大输出功率3Kw1套,可切换水冷电
     
      极3根,组成2个蒸发舟
     
      基片尺寸:可放置4″基片
     
      样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm加热最高温度 800°C±1°C,可调手动控制样品挡板组件1套
     
      气路系统:质量流量控制器1路
     
      石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显示范围:0-99μ9999Å

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