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    ULVAC蒸发台

    产品品牌

    ULVAC

    库       存:

    1

    产       地:

    日本

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:ULVAC

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-电子束蒸发

     品牌:ULVAC

    应用领域:IC,MEMS,LED,IGBT,SiC Power Device

    设备特点:本设备是用于在半导体或特种材料基板上进行金属、ITO等材料蒸镀的批处理式高真空蒸发镀膜设备。 

    可通过触摸屏进行集中操作控制,自动完成从真空排气至镀膜的所有过程。适用于半导体、LED、电力电子等行业芯片的科研及小批量生产。

    ・可搭载多种蒸发源 (EB, RH, EB + RH 等)

    ・可搭载多种夹具,对应不同工艺(lift-off, planetary, satellite 等)

    ・可搭载多种基板; 基板尺寸从2寸到6寸,材料为硅,玻璃等

    ・可通过 LCD 触摸屏进行操作

    ・PC控制系统以及各种功能(工艺参数,记录数据,维护保养)

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