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4001027270
型号：1300
规格：内腔1300
重量：3000KG
外形尺寸：内径1300
标准箱数：1台
特点：
1. 中外技术整合
2. 基于20年使用经验，从使用者角度出发的全新设计
3. 一流性价比
4. 60%进口零部件，产品质量重点保证
5. 产品主要参数：
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项目
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参数
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极限真空
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低于9.0E-5pa
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恢复真空
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10min内达到3.0E-3pa
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保真空
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低于9.0E-2pa
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温度均匀性
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280℃±10℃（30min加热后）
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成膜均匀性
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小于5nm
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成膜再现性
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小于5nm
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成膜控制
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专业全自动软件控制
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